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シグマ光機（SIGMAKOKI） 高耐久型自動アライメントステージ HDS
￥154,000 ~ ￥242,000 （税込）
| 商品仕様1 | ●半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。●試料ごとに微小な回転角度を調整する自動のアライメント装置などの用途に最適です。●駆動機構にボールネジを使用することで、部品の磨耗やガタツキを減らし、高耐久性を実現しました。●ボールネジによる直線運動をスチールベルトにより回転運動に変換しているため、分解能や回転速度はストロークセンターとストロークエンドとで差が生じることがありません。●HDSシリーズの原点センサはストロークの中心(0°)付近にあります。●※HDSシリーズは水平面に設置してご使用ください。●※天地逆転や垂直面に取り付けた場合は、性能を保証できません。 |
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