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小型マスフローコントローラ（MF-C）
●スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。●0.5sec以内の高速制御が可能です。●流量制御値及び積算機能を搭載しています。●消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。●※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
￥83,600 ~ ￥94,052 （税込）
| 精度 | ±3％F.S. | 適用ガス | N2/Air |
|---|---|---|---|
| 接ガス部材質 | ポリアミド樹脂・フッ素ゴム・ステンレス・アルミナ・半導体シリコン・半田 | ||
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