￥405,460（税込）
／￥368,600（税抜き）
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お申込番号：RR32965 ／メーカー：ヴェルヴォクリーア ／型番：W-357-1.5MPG ／オレンジブック発注コード：470-0448
商品詳細
- ブランド名
- ヴェルヴォクリーア（VELVO-CLEAR）
- 商品仕様1
- ●石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します。●石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。●半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現します。●薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。●振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。●冷却することで急激な温度変化がなく長寿命になります。●発振モード 単周波発振●電源入力 AC100V～240V 単相 50/60Hz 300VA●セット内容：●電源コード（AC100V／2m又はAC200V／3mから選択)●制御コード(5m)×4
- 使用周囲環境
- 温度5～40℃、湿度10～85%
- 公称発振周波数(MHz)
- 1.5
- 出力可変範囲(W)
- 0～40
| お申込番号 | RR32965 |
|---|---|
| メーカー | ヴェルヴォクリーア |
| 型番 | W-357-1.5MPG |
| 販売単位 | 1台 |
| 公称発振周波数(MHz) | 1.5 |
| 価格 | ￥405,460（税込） ／￥368,600（税抜き） |
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| メーカー名 | ヴェルヴォクリーア | ブランド名 | ヴェルヴォクリーア（VELVO-CLEAR） |
|---|---|---|---|
| 商品仕様1 | ●石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します。●石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。●半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現します。●薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。●振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。●冷却することで急激な温度変化がなく長寿命になります。●発振モード 単周波発振●電源入力 AC100V～240V 単相 50/60Hz 300VA●セット内容：●電源コード（AC100V／2m又はAC200V／3mから選択)●制御コード(5m)×4 | 使用周囲環境 | 温度5～40℃、湿度10～85% |
| 公称発振周波数(MHz) | 1.5 | 出力可変範囲(W) | 0～40 |
| 原産国 | 日本 | 外部駆動用接点の定格 | 超音波発振制御(制御側)接点入力：DC12V 18mA以上 |
| 定格出力(W) | 40 | 警報用出力(本器)接点容量 | DC24V 0.5A |
| 備考 | 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。 | ||
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